一种氧化钼纳米纤维纸质氢敏元件

摘要

本实用新型公开一种氧化钼纳米纤维纸质氢敏元件，包括氧化钼纳米纤维纸和导电电极，所述氧化钼纳米纤维纸由水热法制备得到，单根氧化钼纳米带长度可达500um以上；所述导电电极是在所述氧化钼纳米纤维纸的单侧表面覆盖设定尺寸金属掩膜版后，再在真空磁控溅射设备内溅射加工出金属Pt/Pd纳米颗粒阵列形成的导电电极，所述电极分别与外部封装引线连接，成为氢气传感器成品。所述氢气传感器可在常温下工作，功耗低于0.5W，响应和恢复时间短、灵敏度高，性能稳定，所述氢敏元件还可方便的集成在各种多路传感器中。

主权项

一种氧化钼纳米纤维纸质氢敏元件，包括：氧化钼纳米纤维纸和导电电极，所述氧化钼纳米纤维纸由水热法制备得到，单根氧化钼纳米带长度可达500um以上；其特征在于：所述导电电极是在所述氧化钼纳米纤维纸的单侧表面覆盖设定尺寸金属掩膜版后，再在真空磁控溅射设备内溅射加工出金属Pt/Pd纳米颗粒阵列形成的导电电极，所述导电电极分别与外部封装引线连接。