三轴立体足球状微陀螺仪及其加工方法

摘要

本发明公开一种三轴立体足球状微陀螺仪及其加工方法，包括两层上下叠放的玻璃基底以及安装于两侧玻璃基底之间的主单元结构，主单元结构包括立体质量块、内弹性梁、外弹性梁、驱动结构和检测结构；立体质量块呈足球状位于主单元结构的中心位置，立体质量块通过四组内弹性梁连接于外弹性梁，检测结构包括两个X轴检测电极、两个Y轴检测电极和两个Z轴检测电极；驱动结构包括两个分别位于正负X轴方向的X轴驱动电极、两个分别位于正负Y轴方向的Y轴驱动电极和两个分别位于正负Z轴方向的Z轴驱动电极。本发明结构简单，体积相对较小，便于加工制造，能够极大地提高成品率，测量精度好，具有广阔的市场前景。

主权项

一种三轴立体足球状微陀螺仪，其特征在于：包括两层上下叠放的玻璃基底以及安装于两侧玻璃基底之间的主单元结构，所述主单元结构包括立体质量块、内弹性梁、外弹性梁、驱动结构和检测结构；所述立体质量块呈足球状位于主单元结构的中心位置，立体质量块通过四组内弹性梁连接于外弹性梁，四个外弹性梁依次固定连接形成正方形框架；以立体质量块为原点建立空间直角坐标系，所述检测结构包括两个分别位于正负X轴方向的X轴检测电极、两个分别位于正负Y轴方向的Y轴检测电极和两个分别位于正负Z轴方向的Z轴检测电极，所述两个X轴检测电极和两个Y轴检测电极两两对应分别设置于靠近立体质量块的四侧边，且位于正方形框架内部；所述两个Z轴检测电极分别设置于立体质量块的正上方和正下方；所述驱动结构包括两个分别位于正负X轴方向的X轴驱动电极、两个分别位于正负Y轴方向的Y轴驱动电极和两个分别位于正负Z轴方向的Z轴驱动电极，所述两个X轴驱动电极和两个Y轴驱动电极分别设置于相对应的外弹性梁的外侧中部位置；所述两个Z轴驱动电极分别设置于相对应的Z轴检测电极的外侧。