半导体物理量传感器

摘要

半导体物理量传感器(10)具备：第1基材(20)；电极(60)，其被形成在第1基材(20)上；隔膜(50)，其根据从外部施加的物理量而弯曲；第2基材(30)，其将隔膜(50)支承为相对于电极(60)而隔着空间(S)相对，并且该第2基材被固定于第1基材(20)；和绝缘体(40)，其被形成在隔膜(50)的第1基材(20)侧的面(50a)。并且，在绝缘体(40)与电极(60)之间形成了划分出空间(S)的壁部(41)。

主权项

一种半导体物理量传感器，具备：第1基材；电极，其被形成在所述第1基材上；隔膜，其根据从外部施加的物理量而弯曲；第2基材，其将所述隔膜支承为隔着空间而与所述电极相对，并且该第2基材被固定于所述第1基材；和绝缘体，其被形成在所述隔膜的所述第1基材侧的面，在所述绝缘体与所述电极之间形成有划分出所述空间的壁部。