一种氢同位素定量分装设备及其分装方法

摘要

本发明公开了气体分装领域内的一种氢同位素定量分装设备及其分装方法，该分装设备包括大型储氢容器、定量分装装置、小型储氢容器以及真空泵组，该分装方法包括以下步骤，连接=>加热=>抽真空=>冷却=>定量分装，本发明提高了分装精度、控制精度以及自动化程度，降低成本，可用于氢同位素（氕氘氚）分装中。

主权项

一种氢同位素定量分装设备，其特征在于，包括大型储氢容器、定量分装装置、小型储氢容器以及真空泵组，定量分装装置包括质量流量控制计、压力传感器、第一温度传感器、第一过滤器、第二过滤器、钢瓶、第一气动阀、第二气动阀、第三气动阀、第四气动阀以及第五气动阀，大型储氢容器输出端通过第一角阀与第一过滤器输入端相连，第一过滤器输出端分为两路，分别与第一气动阀、第二气动阀的输入端相连，第一气动阀的输出端与第三气动阀的输出端汇接到质量流量控制计的输入端，第三气动阀的输入端连接有钢瓶，质量流量控制计的输入端还连接有压力传感器和第一温度传感器，质量流量控制计的输出端与第四气动阀输入端相连，第四气动阀的输出端分为两路，分别与第二过滤器输入端、第五气动阀输入端相连，第二过滤器的输出端经第二角阀与小型储氢容器，第五气动阀输出端和第二气动阀输出端汇接到真空泵组输入端，所述真空泵组包括第一真空阀、第二真空阀、第三真空阀、分子泵以及无油涡旋泵，无油涡旋泵通过波纹管与第一真空阀、第二真空阀相连，所述分子泵通过波纹管与第二真空阀、第三真空阀相连，第一真空阀与第三真空阀并联形成真空泵组的输入端。