透明导电性膜、其制造方法、电子装置用部件及电子装置

摘要

本发明是透明导电性膜等，所述透明导电性膜是具有基材层、阻气层和透明导电体层的透明导电性膜，上述阻气层由至少包含氧O原子、碳C原子和硅Si原子的材料构成，并具有下述区域(A)，所述区域(A)从表面向着深度方向，层中的氧O原子的存在比例逐渐减少，碳C原子的存在比例逐渐增加，上述区域(A)包含相对于氧O原子、碳C原子和硅Si原子的总存在量，氧O原子的存在比例为20～55%、碳C原子的存在比例为25～70%、硅Si原子的存在比例为5～20%的部分区域(A1)，和氧O原子的存在比例为1～15%、碳C原子的存在比例为72～87%、硅Si原子的存在比例为7～18%的部分区域(A2)。

主权项

透明导电性膜，其特征在于，其为具有基材层、阻气层和透明导电体层的透明导电性膜，所述阻气层由至少包含氧原子、碳原子和硅原子的材料构成，并具有厚度为5～110nm的下述区域(A)，所述区域(A)从表面向着深度方向，层中的氧原子的存在比例逐渐减少，碳原子的存在比例逐渐增加，所述区域(A)包含相对于氧原子、碳原子和硅原子的总存在量，氧原子的存在比例为20～55%、碳原子的存在比例为25～70%、硅原子的存在比例为5～20%的厚度为1～10nm的部分区域(A1)，和氧原子的存在比例为1～15%、碳原子的存在比例为72～87%、硅原子的存在比例为7～18%的部分区域(A2)，所述透明导电体层是包含锌系氧化物的厚度为20nm～500nm的层，下述式所示的T1小于1.0，T2为1.0以下，式中，R0表示透明导电性膜的初始薄层电阻值，R1表示将透明导电性膜在60℃的环境下放置3天后的薄层电阻值，R2表示将透明导电性膜在60℃90%RH环境下放置3天后的薄层电阻值，在40℃、相对湿度90%气氛下的水蒸气透过率为小于0.5g/m²/天。