装载单元以及处理系统

摘要

本发明提供能够避免增大升降机构的能力的必要性，并且能够抑制该升降机构的高成本化的装载单元。装载单元为了对基板(W)实施热处理而使保持有多个基板的基板保持件(58)相对于筒体状的处理容器(46)升降。这种装载单元具备：升降机构(66)，该升降机构(66)保持基板保持件和帽(62)，并使该基板保持件和帽(62)升降；以及推压机构(86)，该推压机构(86)具有压电致动器(88)，该推压机构(86)是为了将位于处理容器的下端的开口部(44)的帽(62)朝上方推压而设置的。由此，避免了增大升降机构的能力的必要性，并且抑制了该升降机构的高成本化。

主权项

一种装载单元，该装载单元保持对多个基板进行保持的基板保持件、和对基板保持件进行支承的帽，并使所述基板保持件和帽相对于由基体板支承、下端开口、且由帽封闭的筒体状的处理容器升降，所述装载单元的特征在于，所述装载单元具备：升降机构，该升降机构保持所述基板保持件和所述帽，并使所述基板保持件和帽升降；以及推压机构，该推压机构是为了将位于所述处理容器的下端的开口部的所述帽朝上方推压而设置的，且具有：固定臂部，所述固定臂部固定地安装于所述基体板；滑动板，所述滑动板设置于所述固定臂部，且形成为能够在位于所述开口部的所述帽的下方沿水平方向移动；以及压电致动器，所述压电致动器使用了压电元件，设置于所述滑动板，且能够推压所述帽。