一种超精密平面陶瓷件的加工方法

摘要

本发明公开了一种超精密平面陶瓷件的加工方法，包括以下步骤：用天然或合成化合物经过成形和高温烧结，然后对其进行磨削和研磨加工，使陶瓷件的面型达到一定精度要求，若当机械加工的常规测量技术检测不了时再用超精密抛光系统对陶瓷件进行抛光，使陶瓷件的表面光洁度提高，当其光洁度达到一定程度时即平面干涉仪能检测出整个陶瓷件的面型数据时，通过平面干涉仪检测其面型精度，根据检测出的面型数据及特点，以数字拟合基准面技术为基础并结合相关的抛光工艺，规划出下一次抛光时运动轨迹，结合超精密抛光系统对陶瓷件进行下一次加工，使其面型达到更高的精度要求。采用本发明技术方案，减少了误差，提高了精度，加工效率也得到了提高。

主权项

一种超精密平面陶瓷件的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1）先用天然或合成化合物经过成形和高温烧结，然后对其进行磨削和研磨加工，使陶瓷件的面型达到一定精度要求；步骤2）当机械加工的常规测量技术检测不了时，用超精密抛光系统对陶瓷件进行抛光，使陶瓷件的表面光洁度提高；步骤3）当光洁度达到一定程度时即平面干涉仪能检测出整个陶瓷件的面型数据时，可通过平面干涉仪检测其面型精度；步骤4）最后根据检测出的面型数据及特点，以数字拟合基准面技术为基础并结合相关的抛光工艺，规划出下一次的抛光时运动轨迹，结合超精密抛光系统对陶瓷件进行下一次加工，使其面型达到更高的精度要求。