用于反应室内旋转石墨盘精确定位系统

摘要

本发明公开了一种用于反应室内旋转石墨盘精确定位系统，包括驱动件、石墨盘、激光测距仪和控制器，所述驱动件用于带动石墨盘旋转及停止定位，所述石墨盘上设置有用来放置晶圆片的凹槽，在所述石墨盘的边缘开了一个缺口；所述激光测距仪用来测量出到石墨盘边缘及U型缺口的距离并传送给PLC控制器，由PLC控制器作出判断并控制驱动件的启停。本发明具有结构简单紧凑、控制方便、精确度高等优点。

主权项

一种用于反应室内旋转石墨盘精确定位系统，其特征在于，包括驱动件（1）、石墨盘（4）、激光测距仪（6）和控制器，所述驱动件（1）用于带动石墨盘（4）旋转及停止定位，所述石墨盘（4）上设置有用来放置晶圆片的凹槽（9），在所述石墨盘（4）的边缘开了一个缺口（8）；所述激光测距仪（6）用来测量出到石墨盘（4）边缘及U型缺口（8）的距离并传送给PLC控制器，由PLC控制器作出判断并控制驱动件（1）的启停。