一种高真空内移动测束法拉第驱动装置

摘要

本发明公开了一种高真空内移动测束法拉第驱动装置，包括高真空密封腔室，高真空密封腔室外设有驱动装置，高真空密封腔室内设有移动法拉第，驱动装置驱动移动法拉第于高真空密封腔室内移动以开展检测，高真空密封腔室内设有平行布置的丝杆螺母副组件和滑动导轨组件，移动法拉第同时与丝杆螺母副组件和滑动导轨组件相连，驱动装置驱动丝杆螺母副组件运动以带动移动法拉第沿滑动导轨组件移动。本发明具有结构简单紧凑、移动平稳性好、真空密封性好的优点。

主权项

一种高真空内移动测束法拉第驱动装置，包括高真空密封腔室（1），所述高真空密封腔室（1）外设有驱动装置（2），所述高真空密封腔室（1）内设有移动法拉第（3），所述驱动装置（2）驱动移动法拉第（3）于高真空密封腔室（1）内移动以开展检测，其特征在于，所述高真空密封腔室（1）内设有平行布置的丝杆螺母副组件（4）和滑动导轨组件（5），所述移动法拉第（3）同时与丝杆螺母副组件（4）和滑动导轨组件（5）相连，所述驱动装置（2）驱动丝杆螺母副组件（4）运动以带动移动法拉第（3）沿滑动导轨组件（5）移动。