| 摘要 |
리소그래피 장치의 기판 위치 설정기를 교정하는 방법이 제시되며, 이러한 방법은: 리소그래피 장치를 이용하여 기준 층을 갖는 기판의 표면 상의 노광된 층 상에 패턴을 노광하는 단계로서, 패턴은 기판 위치 설정기에 의한 기판의 이동에 대응하는, 패턴 노광 단계; 기판 상의 복수의 위치 상에서 기준 층과 노광된 층 사이의 오버레이 데이터를 측정하는 단계; 이산 코사인 변환에 의해 오버레이 데이터를 공간 영역으로부터 주파수 영역으로 변환하는 단계; 오버레이 데이터의 서브세트를 선택함으로써 주파수 영역에서 오버레이 데이터를 수정하는 단계; 수정된 오버레이 데이터를 역 이산 코사인 변환에 의해 주파수 영역으로부터 다시 공간 영역으로 변환하는 단계; 및 공간 영역의 수정된 오버레이 데이터를 이용하여 기판 위치 설정기를 교정하는 단계를 포함한다. |
