多晶硅生产用石英坩埚喷涂台

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅生产用石英坩埚喷涂台，其包括设于可旋转底座上的喷涂平台，以及拌料装置和吸尘装置，所述吸尘装置包括吸尘通道和设于所述吸尘通道上的风机，所述吸尘通道的内端口为喇叭口，位于所述喷涂平台的正上方，且喇叭口的口径大于所述喷涂平台的外径。本实用新型中石英坩埚喷涂台的结构合理，通过设置吸尘装置，并将吸尘通道的内端口设计成喇叭口状，位于所述喷涂平台的正上方，且所述喇叭口的口径大于所述喷涂平台的外径，这样一来，能够及时有效的将喷涂作业时产生的粉尘及时排出喷涂车间，从而改善了喷涂车间的工作环境，有益于工作人员的身体健康。

主权项

一种多晶硅生产用石英坩埚喷涂台，包括设于可旋转底座上的喷涂平台(1)，以及拌料装置，其特征在于，还包括吸尘装置(2)，所述吸尘装置(2)包括吸尘通道(4)和设于所述吸尘通道(4)上的风机(5)，所述吸尘通道(4)的内端口为喇叭口(3)，位于所述喷涂平台(1)的正上方，且所述喇叭口(3)的口径大于所述喷涂平台(1)的外径。