一种快速查找晶圆划伤缺角沾污的方法

摘要

本发明提供一种快速查找晶圆划伤缺角沾污的方法，包括：将已确认的造成晶圆划伤缺角沾污的设备的名称和硬件尺寸汇总做成数据库1；统计晶圆制造过程中与所述晶圆发生接触的所有设备的名称和硬件尺寸，并将上述所有的硬件尺寸和晶圆的接触位置做成统一的数据库2；按照0.5mm的像素点对所述晶圆进行划分；在所划分的所述晶圆中确定划伤的起点和终点；选取与所述划伤最近似的曲线；根据所述曲线的形状和长度从所述数据库2中选取对应的数据，并将所选取的数据与所述数据库1中的数据进行对比；将确认的结果数据输入所述数据库1，以作为后续判断问题的参考依据。

主权项

一种快速查找晶圆划伤缺角沾污的方法，包括：将已确认的造成晶圆划伤缺角沾污的设备的名称和硬件尺寸汇总做成数据库1；统计晶圆制造过程中与所述晶圆发生接触的所有设备的名称和硬件尺寸，并将上述所有的硬件尺寸和标示设备与晶圆的接触位置的数值做成统一的数据库2；按照0.5mm的像素点对所述晶圆进行划分；在所划分的所述晶圆中确定划伤的起点和终点，连接所述起点和终点得到初始曲线；将所述初始曲线与所述划伤的形状进行比较，以确定所述初始曲线的最终形状；根据所述初始曲线的最终形状和长度从所述数据库2中选取对应的数据，并将所选取的数据与所述数据库1中的数据进行对比；将实施所述对比后得到的数据输入所述数据库1，以作为后续判断问题的参考依据。