发明名称 粘接片
摘要 半导体装置制造用粘接片1,具备:基材薄膜10、配置于基材薄膜10上的粘接层20、配置于粘接层20上并且具有露出粘接层20的开口30a的粘接层30和配置于粘接层20中从开口30a露出的部分25上的芯片接合薄膜40,芯片接合薄膜40的外周的至少一部分与粘接层30相接。
申请公布号 CN102959688B 申请公布日期 2016.04.06
申请号 CN201180027958.4 申请日期 2011.06.14
申请人 日立化成株式会社 发明人 中村祐树;宫原正信;片山阳二;玉置刚士;畠山惠一;池谷卓二
分类号 H01L21/301(2006.01)I;H01L21/52(2006.01)I 主分类号 H01L21/301(2006.01)I
代理机构 上海市华诚律师事务所 31210 代理人 徐申民;杜娟
主权项 一种粘合片,具备:基材、配置于所述基材上的第1粘合层、配置于所述第1粘合层上并且具有露出所述第1粘合层的开口的第2粘合层和配置于所述第1粘合层中从所述开口露出的部分上的芯片焊接薄膜,芯片焊接薄膜的外周部分从开口突出,在与第2粘合层表面的内周侧的边缘部相接的状态下与第2粘合层重叠。
地址 日本国东京都千代田区丸之内一丁目9番2号