发明名称 |
粘接片 |
摘要 |
半导体装置制造用粘接片1,具备:基材薄膜10、配置于基材薄膜10上的粘接层20、配置于粘接层20上并且具有露出粘接层20的开口30a的粘接层30和配置于粘接层20中从开口30a露出的部分25上的芯片接合薄膜40,芯片接合薄膜40的外周的至少一部分与粘接层30相接。 |
申请公布号 |
CN102959688B |
申请公布日期 |
2016.04.06 |
申请号 |
CN201180027958.4 |
申请日期 |
2011.06.14 |
申请人 |
日立化成株式会社 |
发明人 |
中村祐树;宫原正信;片山阳二;玉置刚士;畠山惠一;池谷卓二 |
分类号 |
H01L21/301(2006.01)I;H01L21/52(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/301(2006.01)I |
代理机构 |
上海市华诚律师事务所 31210 |
代理人 |
徐申民;杜娟 |
主权项 |
一种粘合片,具备:基材、配置于所述基材上的第1粘合层、配置于所述第1粘合层上并且具有露出所述第1粘合层的开口的第2粘合层和配置于所述第1粘合层中从所述开口露出的部分上的芯片焊接薄膜,芯片焊接薄膜的外周部分从开口突出,在与第2粘合层表面的内周侧的边缘部相接的状态下与第2粘合层重叠。 |
地址 |
日本国东京都千代田区丸之内一丁目9番2号 |