接触式探针的校准

摘要

本发明涉及一种校准接触式探针的方法，该接触式探针具有接触式元件。该方法包括用该接触式探针测量已校准加工品(100、200、300、400、500)的第一几何性质和该已校准加工品或另一个已校准加工品(100、200、300、400、500)的第二几何性质。第一和第二几何性质使得该测量值与预期值之间的偏差对于该第一和第二几何性质中的每一个具有相反符号，该偏差由接触式元件的有效直径与用于确定测量值的假定直径之间的差异引起。该方法进一步包括识别接触式元件的有效直径与假定直径的差异，其包括针对第一和第二几何性质中的每一个比较测量值与预期值的偏差以确定该偏差是否存在差异。

主权项

一种校准接触式探针的方法，所述接触式探针具有接触式元件，所述方法包括：用所述接触式探针测量已校准加工品的第一几何性质和所述已校准加工品或另一个已校准加工品的第二几何性质，所述第一几何性质和所述第二几何性质使得测量值与预期值之间的偏差对于所述第一和第二几何性质中的每一个具有相反符号，所述偏差由所述接触式元件的有效直径与用于确定所述测量值的假定直径之间的差异引起，并且识别所述接触式元件的所述有效直径与所述假定直径的差异，其包括针对所述第一和第二几何性质中的每一个比较所述测量值与所述预期值的偏差以确定所述偏差是否存在差异。