| 发明名称 | 感光性树脂组合物、感光性元件、半导体装置和抗蚀剂图案的形成方法 | ||
| 摘要 | 一种感光性树脂组合物，其含有：(A)成分，具有酚羟基的树脂；(B)成分，具有羟甲基或烷氧基烷基的化合物；(C)成分，具有2个以上选自丙烯酰氧基、甲基丙烯酰氧基、缩水甘油氧基和羟基中的1种以上官能团的脂肪族化合物；以及(D)成分，光敏性酸产生剂。 | ||
| 申请公布号 | CN105474097A | 申请公布日期 | 2016.04.06 |
| 申请号 | CN201480044926.9 | 申请日期 | 2014.09.29 |
| 申请人 | 日立化成株式会社 | 发明人 | 岩下健一;加藤哲也;海老原雅彦 |
| 分类号 | G03F7/038(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/027(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/038(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人 | 钟晶;金鲜英 |
| 主权项 | 一种感光性树脂组合物，其含有(A)成分：具有酚羟基的树脂；(B)成分：具有羟甲基或烷氧基烷基的化合物；(C)成分：具有2个以上选自丙烯酰氧基、甲基丙烯酰氧基、缩水甘油氧基和羟基中的1种以上官能团的脂肪族化合物；以及(D)成分：光敏性酸产生剂。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||