用于高温低压力环境的细长的容性耦合的等离子体源

摘要

描述了一种用于处理腔室的模块化等离子体源组件。所述组件包括RF热电极且具有邻接电极的侧而定位的端部电介质和滑动式接地连接件。密封箔将滑动式接地连接件连接至外壳以提供接地的滑动式接地连接件，所述接地的滑动式接地连接件通过端部电介质与热电极分开。同轴馈送线穿过导管而进入与处理环境隔离的RF热电极，使得当等离子体处理区域处于减小的压力下时，同轴RF馈送线处于大气压力下。

主权项

一种模块化等离子体源组件，所述模块化等离子体源组件包含：细长的外壳，所述细长的外壳具有侧壁、电气接地正面以及气体容积；细长的RF热电极，所述细长的RF热电极在所述外壳内，所述细长的RF热电极具有正面、背面、细长的侧以及限定细长轴的第一端与第二端，所述细长的RF热电极与所述正面间隔开以在所述RF热电极的正面与所述细长的外壳的正面之间形成间隙；端部电介质，所述端部电介质与所述RF热电极的所述第一端和所述第二端中的每一端都接触，并且在所述RF热电极与所述侧壁之间；滑动式接地连接件，所述滑动式接地连接件定位在所述RF热电极的所述第一端和所述第二端中的一者或更多者处且与所述端部电介质相对，所述滑动式接地连接件通过所述端部电介质来隔离与所述RF热电极的直接接触；密封箔，所述密封箔定位在每一个滑动式接地连接件处且与所述端部电介质相对，所述密封箔在所述细长的外壳的正面与所述滑动式接地连接件之间形成电气连接；以及同轴RF馈送线，所述同轴RF馈送线穿过所述细长的外壳，所述同轴RF馈送线包括由绝缘体分开的外导体和内导体，所述外导体与电气接地连通，并且所述内导体与所述细长的RF热电极电气连通。