发明名称 一种菲林结构电容式触摸屏的触控感应器及其制作方法
摘要 本发明提供了一种菲林结构电容式触摸屏的触控感应器及其制作方法,所述制作方法包括:选择第一预定尺寸的具有导电层的菲林和第二预定尺寸的固态光阻干膜;将所述固态光阻干膜粘贴在所述导电层的表面;采用掩模板对所述固态光阻干膜和所述导电层进行曝光;将曝光后的所述固态光阻干膜和所述导电层进行显影;将显影后的所述固态光阻干膜和所述导电层进行图案蚀刻;剥离所述图案蚀刻后的剩余所述固态光阻干膜;制作功能走线。该制作方法解决了涂敷液态光阻胶方法的制作困难问题,提高了触摸屏的产品性能,降低了生产成本,具有很高的性价比优势。
申请公布号 CN102880370B 申请公布日期 2016.04.06
申请号 CN201210418895.1 申请日期 2012.10.26
申请人 信利光电股份有限公司 发明人 苏初榜;蔡汉业;吕一帆;张良;何基强;李建华
分类号 G06F3/044(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I 主分类号 G06F3/044(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 王宝筠
主权项 一种菲林结构电容式触摸屏的触控感应器的制作方法,其特征在于,包括步骤:选择第一预定尺寸的菲林和第二预定尺寸的固态光阻干膜;其中,所述菲林的表面具有一层导电层,所述固态光阻干膜用作光阻层;采用滚轮设备将所述固态光阻干膜粘贴在所述导电层的表面;采用掩模板对所述固态光阻干膜和所述导电层进行曝光;将曝光后的所述固态光阻干膜和所述导电层进行显影;将显影后的所述固态光阻干膜和所述导电层进行图案蚀刻;剥离所述图案蚀刻后的剩余所述固态光阻干膜;制作功能走线;所述剥离所述图案蚀刻后的剩余所述固态光阻干膜,具体包括:将图案蚀刻后的固态光阻干膜和导电菲林浸泡入具有一定浓度和温度的碱液中,将剩余的固态光阻干膜从导电菲林的表面剥离。
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