微桥结构红外探测器的制造方法

摘要

本发明公开了一种微桥结构红外探测器的制造方法，属于半导体技术领域。该方法包括：在硅衬底上形成金属功能层，所述金属功能层至少包括用于形成凹凸状梁体的凹凸状假金属图形；依次在所述凹凸状假金属图形之上形成部分呈凹凸状的牺牲层、梁体和微桥桥面，以形成红外探测器中的探测结构。本发明实施例中，在不增加工艺步骤和不增加面积的情况下，使用凹凸状的假金属图形来实现凹凸状梁体结构，简化了微桥结构的形成过程，降低红外探测器的制造成本。

主权项

一种微桥结构红外探测器的制造方法，其特征在于，包括：在硅衬底上形成金属功能层，所述金属功能层至少包括用于形成凹凸状梁体的凹凸状假金属图形，所述凹凸状假金属图形不实现任何电连接，仅作为形成凹凸状梁体结构而使用；依次在所述凹凸状假金属图形之上形成部分呈凹凸状的牺牲层、梁体和微桥桥面，以形成红外探测器中的探测结构。