一种空气隙型偏光棱镜胶合误差的测量装置

摘要

本发明公开了一种空气隙型偏光棱镜胶合误差的测量装置，包括4f光学信息处理系统，在4f光学信息处理系统的系统输入面上设置有待测棱镜，在4f光学信息处理系统的频谱面上设置有一用于消弱零级频谱的低通振幅型滤波器，在4f光学信息处理系统的系统输出平面上设置有CCD探测器，CCD探测器与一计算机相连；上述计算机采集输出平面上的干涉光场的光强分布图样，根据光强分布图样计算得出条纹间距，并利用条纹间距与胶合误差之间的关系计算得出胶合误差。本发明借助4f光学信息处理系统，通过在频谱面加入合适的滤波器大幅度提高偏光棱镜透射光强的干涉条纹的可见度，并准确的测量干涉条纹间距；再结合胶合误差与偏光棱镜透射光强之间的关系计算出胶合误差。

主权项

一种空气隙型偏光棱镜胶合误差的测量装置，包括4f光学信息处理系统，该4f光学信息处理系统包括照明点光源、准直透镜、系统的输入平面、第一傅立叶变换透镜、频谱面、第二傅立叶变换透镜与系统的输出平面，其中输入平面与相邻傅立叶变换透镜之间的距离、频谱面与相邻傅立叶变换透镜之间的距离，以及输出平面与相邻傅立叶变换透镜之间的距离均为f；其特征在于：在上述系统的输入平面上设置有待测棱镜，在频谱面上设置有一用于消弱零级频谱和滤除二级及以上频谱的低通振幅型滤波器，在系统的输出平面上设置有CCD探测器，CCD探测器与一计算机相连；上述计算机采集输出平面上的干涉光场的光强分布图样，根据光强分布图样计算得出条纹间距，并利用条纹间距与胶合误差之间的关系计算得出胶合误差，包括以下算式：$f=\frac{2tan\omega \cos j}{\lambda }$$\omega =arctan\frac{f\lambda }{2\cos j}=arctan\frac{\lambda }{2D\cos j}$其中，f为条纹的空间频率，λ为入射光的波长，ω为胶合误差角，j是光束在空气隙上表面的折射角，由棱镜的切割角S确定，D＝1/f是输出平面上干涉条纹的宽度。