发明名称 |
一种金属有机物化学气相沉积设备的支柱 |
摘要 |
本发明涉及一种金属有机物化学气相沉积设备的支柱,属于半导体设备制造技术领域。一种金属有机物化学气相沉积设备的支柱,包括支柱体、导流螺杆、O型圈、反应腔顶盖、进水管、出水管、上盖、排气窗和反应腔底座,其特征在于,所述支柱体外套有隔热外套。本发明通过在支柱体外增加隔热外套,减少反应腔内高热气流对支柱体的加热效应,减小支柱体的形变以及高热反应气体对支柱体表面的刻蚀,以达到延长支柱的使用寿命。 |
申请公布号 |
CN105463411A |
申请公布日期 |
2016.04.06 |
申请号 |
CN201610045732.1 |
申请日期 |
2016.01.23 |
申请人 |
冯雅清 |
发明人 |
冯雅清 |
分类号 |
C23C16/455(2006.01)I;C23C16/18(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/455(2006.01)I |
代理机构 |
上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 |
代理人 |
唐燕洁 |
主权项 |
一种金属有机物化学气相沉积设备的中央支柱,包括中央支柱体(1)、导流螺杆(2)、O型圈(3)、反应腔顶盖(4)、进水管(5)、出水管(6)、上盖(7)、排气窗(8)和反应腔底座(10),其特征在于,所述中央支柱体(1)外套有隔热外套(9)。 |
地址 |
200135 上海市浦东新区张杨路2100弄2号1803室 |