点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法

摘要

一种点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法之二,该测量仪由光源、分光器、第一光强与偏振态调节器、相移器、第二光强与偏振态调节器、理想波前与点光源发生单元、物方精密调节台、被测光学系统、像方波前检测单元、像方精密调节台和数据处理单元组成。本发明测量仪在被测光学系统物面仅需要产生一路标准球面波输出，降低了系统复杂性，提高了光能利用率；该测量仪也降低了系统精密度要求及操作复杂性。

主权项

一种点衍射干涉波像差测量仪，该测量仪的构成包括：光源(1)、分光器(2)、第一光强与偏振态调节器(3)、相移器(4)、第二光强与偏振态调节器(5)、理想波前与点光源发生单元(6)、物方精密调节台(7)、被测光学系统(8)、像方波前检测单元(9)、像方精密调节台(10)和数据处理单元(11)；所述的像方波前检测单元(9)由像方掩模(901)、光电传感器(902)、支架(903)构成，像方掩模(901)包括透光窗口(901b)和滤波圆孔(901a)，所述的光电传感器(902)包括一个二维探测器(902b)；其特征在于所述的理想波前与点光源发生单元(6)是将从其第一输入端(6A)输入的光转换成在被测光学系统(8)的物方数值孔径范围内是标准球面波，并从其理想波前输出端(6C)输出，将从其第二输入端(6B)输入的光转换成输出数值孔径大于等于被测光学系统(8)的物方数值孔径，但非理想球面波的点光源，并从其点光源输出端(6D)输出的光学组件；所述的理想波前与点光源发生单元(6)的理想波前输出端(6C)和点光源输出端(6D)之间的中心距离(so)大于被测光学系统像点弥散斑的直径除以被测光学系统的放大倍数；所述的理想波前与点光源发生单元的理想波前输出端位于被测光学系统的物面，理想波前与点光源发生单元的点光源输出端位于被测光学系统的物面或物面附近。