弹性波装置及其制造方法

摘要

本发明涉及弹性波装置及其制造方法。一种弹性波装置包括：压电基板；设置在压电基板的上表面上的梳形电极；连接到梳形电极的布线；设置在压电基板的上表面上、覆盖梳形电极且限定压电基板的上表面与封盖之间的空间的封盖；设置在封盖的上表面上的第一电极；设置在压电基板的上表面上且覆盖封盖和第一电极的密封树脂；设置在密封树脂的上表面上的端子电极；及贯通密封树脂且电连接第一电极和端子电极的第二电极，第一和第二电极由镀粒金属膜制成，第二电极具有以下中的至少两个：比第一电极的镀粒径更小的镀粒径、比第一电极的密度更大的密度、比第一电极的杨氏模量更大的杨氏模量、以及比第一电极的内部应力更大的内部应力。

主权项

一种弹性波装置，包括：压电基板；梳形电极，设置在所述压电基板的上表面上；布线，连接到所述梳形电极；封盖，设置在所述压电基板的上表面上，覆盖所述梳形电极，并且限定所述压电基板的上表面与所述封盖之间的空间；第一电极，设置在所述封盖的上表面上；密封树脂，设置在所述压电基板的上表面上，并且覆盖所述封盖和所述第一电极；端子电极，设置在所述密封树脂的上表面上；以及第二电极，贯通所述密封树脂并且电连接所述第一电极和所述端子电极，所述第一电极和所述第二电极由镀粒金属膜制成，所述第二电极具有以下各项中的至少两个：比所述第一电极的镀粒径更小的镀粒径、比所述第一电极的密度更大的密度、比所述第一电极的杨氏模量更大的杨氏模量、以及比所述第一电极的内部应力更大的内部应力。