| 发明名称 | 蒸镀装置和有机电致发光元件的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供能够防止由蒸镀流的散射引起的异常成膜的发生的蒸镀装置、和利用该蒸镀装置形成薄膜图案的有机电致发光元件的制造方法。本发明为一种蒸镀装置，其包括：具有射出蒸镀颗粒的喷嘴的蒸镀源；一体化限制板，该一体化限制板具有在该喷嘴的前方具有开口部的第一限制板、和配置在该第一限制板的开口部内的多个第二限制板；和具有多个缝隙的掩模。本发明还为一种有机电致发光元件的制造方法，其包括使用该蒸镀装置形成薄膜的图案的蒸镀工序。 | ||
| 申请公布号 | CN105473757A | 申请公布日期 | 2016.04.06 |
| 申请号 | CN201480044817.7 | 申请日期 | 2014.07.25 |
| 申请人 | 夏普株式会社 | 发明人 | 川户伸一;井上智;越智贵志;小林勇毅;菊池克浩;松本荣一;市原正浩 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01)I;H01L51/50(2006.01)I;H05B33/10(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人 | 龙淳;池兵 |
| 主权项 | 一种蒸镀装置，其特征在于，包括：具有射出蒸镀颗粒的喷嘴的蒸镀源；一体化限制板，该一体化限制板具有在该喷嘴的前方具有开口部的第一限制板、和配置在该第一限制板的开口部内的多个第二限制板；和具有多个缝隙的掩模。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||