压印设备、压印方法和装置制造方法

摘要

本发明涉及压印设备、压印方法和装置制造方法。该压印设备被配置为通过使用其上形成有图案的模子来将所述图案转印到供应在衬底上的压印材料，所述压印设备包括：光接收元件；检测系统，所述检测系统被配置为照射在所述衬底上形成的标记和在所述模子上形成的标记，以及将从在所述衬底上形成的标记和在所述模子上形成的标记反射的光引导到所述光接收元件；以及中继光学系统。所述中继光学系统被配置为在所述中继光学系统与所述检测系统之间形成从在所述衬底上形成的标记和在所述模子上形成的标记反射的光的图像。所述检测系统被配置为将由所述中继光学系统形成图像的光引导到所述光接收元件。

主权项

一种压印设备，被配置为通过使用模子来对在衬底上的压印材料形成图案，所述压印设备包括：光接收元件；检测光学系统，所述检测光学系统被配置为将照射到在所述衬底上形成的标记和在所述模子上形成的标记的光的反射光引导到所述光接收元件；以及中继光学系统，其中所述中继光学系统被配置为在所述中继光学系统与所述检测光学系统之间形成所述反射光的图像，以及其中所述检测光学系统被配置为将由所述中继光学系统形成的图像引导到所述光接收元件。