用于光电成像和信号增强的变孔径微通道板及其制作方法

摘要

一种用于光电成像和信号增强的变孔径微通道板，该微通道板具有上下贯通的多个微通道；各微通道为变孔径微通道；每个微通道包括从上到下顺序相连的喇叭形开口部分、橄榄球形部分和直管部分。本发明的变孔径微通道板的喇叭形开口部分保证了很高的探测效率，同时橄榄球形部分能够有效地抑制噪声，进一步提升了微通道板的探测性噪比，大幅提升了微通道板的微弱信号探测能力。

主权项

一种用于光电成像和信号增强的变孔径微通道板的制备方法，所述微通道板具有上下贯通的多个微通道，各微通道为变孔径微通道；每个微通道包括从上到下顺序相连的喇叭形开口部分、橄榄球形部分和直管部分；所述喇叭形开口部分的剖面呈喇叭形，其孔径从微通道上表面向内逐渐变小至与直管部分的孔径相同；所述橄榄球形部分的剖面呈橄榄球形，其孔径从喇叭形开口部分的末端开始逐渐变大，随后又逐渐变小至与直管部分的孔径相同；所述的喇叭形开口部分在微通道上表面的孔径是直管部分孔径的1.1～1.3倍；所述橄榄球形部分的最大孔径是直管部分孔径的1.1～1.3倍；所述各微通道的孔径变化对称或不对称；其特征在于：包括以下步骤：a)准备无涂层的微通道板，该微通道板具有上下贯通的多个直管形微通道；b)在微通道板上镀膜，膜层覆盖该微通道板的上表面并均匀深入微通道内一定深度；c)将微通道板镀膜的一面浸入氢氟酸溶液中，腐蚀膜层以内的微通道内壁的一部分，形成橄榄球形；d)将微通道板从氢氟酸溶液中取出并清洗干净后，将镀膜的一面浸入王水或者硝酸溶液中，溶解掉膜层；e)将膜层完全溶解后的微通道板从王水或者硝酸溶液中取出并清洗干净后，再将微通道板镀过膜的一面浸入氢氟酸溶液中，腐蚀靠近微通道板上表面的微通道内壁，形成喇叭口。