一种照明衍射光学元件几何技术参数检测装置与方法

摘要

本发明涉及一种照明衍射光学元件几何技术参数检测装置与方法，包括计算机系统、电控系统和成像系统，计算机系统包括计算机和显示器，电控系统包括控制器、电机和电控载物台，成像系统包括光盾、LED光源、镜头和图像传感器，显示器与计算机连接成一体，计算机分别连接控制器和图像传感器，控制器连接控制电机，电机的输出轴上水平布置有电控载物台，电控载物台正对上方设有光盾，光盾上端的圆周内壁上设有LED光源，光盾顶部中间设有图像传感器，图像传感器的镜头正对下方的电控载物台且位于LED光源的上端之间。本发明可实现对照明衍射光学元件几何技术参数高精度、快速检测，为产品的制造与使用提供科学的依据。

主权项

一种照明衍射光学元件几何技术参数检测装置，包括计算机系统、电控系统和成像系统，其特征在于：所述计算机系统包括计算机(1)和显示器(2)，所述电控系统包括控制器(3)、电机(4)和电控载物台(5)，所述成像系统包括光盾(6)、LED光源(7)、镜头(8)和图像传感器(9)，所述显示器(2)与计算机(1)连接成一体，所述计算机(1)分别连接控制器(3)和图像传感器(9)，所述控制器(3)连接控制电机(4)，所述电机(4)的输出轴上水平布置有电控载物台(5)，所述电控载物台(5)正对上方设有的光盾(6)，所述光盾(6)上端的圆周内壁上设有LED光源(7)，所述光盾(6)顶部中间设有图像传感器(9)，所述图像传感器(9)的镜头(8)正对下方的电控载物台(5)且位于LED光源(7)的上端之间；所述光盾(6)为上下两端相通的空心圆柱体，上端的圆周内壁与图像传感器(9)的镜头(8)之间为LED光源(7)，下端的圆周外径与电控载物台(5)边缘相对应，所述电控载物台(5)、光盾(6)、LED光源(7)和图像传感器(9)的镜头(8)通过合围形成避光封闭系统。