主权项 |
一种具有超高真空度的样品调整控制器,其特征在于一样品调整控制器(1)、一X‑Y‑Z线性移动载台(22)及一真空腔(24),所述样品调整控制器(1)是装置在所述X‑Y‑Z线性移动载台(22)中,并使所述样品调整控制器(1)配置于所述真空腔(24)之中,其中所述样品调整控制器(1)其特征在于: 一控制部(12),其上配置有多个控制把手(121/122/123);一中心杆(16),其一端和所述控制部(12)连接;一水平关节部(17),其具有一垂直转动轴(172),所述垂直转动轴(172)的一端配置一转轴(173),藉由所述转轴(173)和所述中心杆(16)的另一端连接,且所述垂直转动轴(172)套设有一中轴齿轮(171);一垂直关节部(14),其一端和所述垂直转动轴(172)的另一端固定连接,所述垂直关节部(14)是由一第一波纹管(141)及一第二波纹管(142)串接而成,所述第一波纹管(141)及所述第二波纹管(142)连接处和一传动齿轮(157)相接;一样品部(13),位于所述样品调整控制器(1)的底端,具有一样品座(131)及一样品载台(132),所述样品座(131)和所述垂直关节部(14)的另一端连接,所述样品载台(132)位于所述样品座(131)的外侧表面,并有一前伞齿轮杆(135)贯穿于所述样品座(131)外侧表面,并和所述载台(132)相接;及一传动部(15),具有一第一传动杆(150)及一第二传动杆(155),所述第一传动杆(150)及所述第二传动杆(155)皆有一端和所述控制把手(121/122/123)的其中之一相接,所述第一传动杆(150)套设有一齿轮(152),且所述第一传动杆(150)的另一端配置有一伞齿轮(151),而所述第二传动杆(155)的另一端套设有一蜗杆(156),所述蜗杆(156)和所述传动齿轮(157)相接,所述蜗杆(156)和所述传动齿轮(157)的多个齿轮牙(1571)相接合;其中,所述第二传动杆(155)的转动能带动所述第一波纹管(141)及所述第二波纹管(142)的形变,进一步带动所述样品部(13)转动。 |