| 发明名称 | 具有闭孔结构的超高空隙体积抛光垫 | ||
| 摘要 | 本发明提供用于化学机械抛光的包含多孔聚合材料的抛光垫，其中该抛光垫包含闭孔且其中该抛光垫具有70％或更大的空隙体积分数。还公开了用于制备前述抛光垫的方法及通过使用前述抛光垫来抛光基板的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN105474366A | 申请公布日期 | 2016.04.06 |
| 申请号 | CN201480046528.0 | 申请日期 | 2014.08.21 |
| 申请人 | 嘉柏微电子材料股份公司 | 发明人 | G.弗图;A.卡恩纳;R.瓦卡西 |
| 分类号 | H01L21/304(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/304(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 宋莉 |
| 主权项 | 用于化学机械抛光的包含多孔聚合材料的抛光垫，其中该抛光垫包含闭孔且其中该抛光垫具有70％或更大的空隙体积分数。 | ||
| 地址 | 美国伊利诺伊州 | ||