| 摘要 |
상이한 재료들로 이루어진 핀들을 형성하는 방법은 상부 표면을 갖는 제 1 재료의 층을 포함하는 기판을 제공하는 단계, 기판의 제 2 부분을 노출시킨 상태로 마스크를 형성시키기 위해 기판의 제 1 부분을 마스킹하는 단계, 제 2 부분에 제 1 개구를 에칭하는 단계, 제 1 재료의 층의 상부 표면의 레벨까지 제 1 개구에 제 2 재료의 바디를 형성하는 단계, 마스크를 제거하는 단계 및 제 1 부분에 제 1 재료의 핀들을 형성하고 제 2 부분에 제 2 재료의 핀들을 형성하는 단계를 포함한다. 적어도 2개의 상이한 재료들로 형성된 핀들을 갖는 finFET 디바이스가 또한 개시된다. |
