摘要 |
압전형 마이크로 스피커 및 그 제조 방법이 개시된다. 개시된 압전형 마이크로 스피커는, 디바이스 플레이트와, 디바이스 플레이트의 전면에 접합된 전면 플레이트와, 디바이스 플레이트의 후면에 접합된 후면 플레이트를 구비한다. 디바이스 플레이트에는 다이어프램과, 다이어프램을 진동시키기 위한 압전 구동부와, 다이어프램의 전방에 위치하는 전면 캐비티가 마련된다. 전면 플레이트에는 전면 캐비티와 연통되는 방사 홀이 마련된다. 후면 플레이트는 압전 구동부와 마주 보는 표면에 형성된 후면 캐비티와, 후면 캐비티와 연통되는 벤트 홀을 가진다. 후면 캐비티의 내측면에는 흡음층이 형성되고, 이 흡음층은 다이어프램으로부터 후방으로 방사된 음향을 흡수하여 그 음향이 후면 플레이트에서 반사되는 것을 억제한다. |