プラズマ光源,申请号JP20120130715-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	プラズマ光源
摘要
申请公布号	JP5900172(B2)	申请公布日期	2016.04.06
申请号	JP20120130715	申请日期	2012.06.08
申请人	株式会社ＩＨＩ	发明人	桑原一
分类号	H05G2/00;H01L21/027	主分类号	H05G2/00
代理机构		代理人
主权项
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