发明名称 | 蒸镀机的喷嘴系统 | ||
摘要 | 本申请公开了一种蒸镀机的喷嘴系统,包括:具有用于收容蒸镀材料的容纳腔的载具;布设于载具周围的用于加热蒸镀材料的蒸镀加热器;安装于载具并用于供蒸镀材料从载具中喷出的喷嘴;用于推出喷嘴内堵塞的推出装置,在本申请提供的实施例中,当喷嘴发生堵塞时,推出装置将喷嘴内堵塞推出,从而可以解决喷嘴堵塞处理时间长的技术问题。 | ||
申请公布号 | CN205133725U | 申请公布日期 | 2016.04.06 |
申请号 | CN201520955797.0 | 申请日期 | 2015.11.26 |
申请人 | 昆山国显光电有限公司 | 发明人 | 卢青;张珅骏;朱晓庆 |
分类号 | C23C14/24(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/24(2006.01)I |
代理机构 | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人 | 许志勇 |
主权项 | 一种蒸镀机的喷嘴系统,其特征在于,包括:具有用于收容蒸镀材料的容纳腔的载具;布设于载具周围的用于加热蒸镀材料的蒸镀加热器;安装于载具并用于供蒸镀材料从载具中喷出的喷嘴;用于推出喷嘴内堵塞的推出装置。 | ||
地址 | 215300 江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路1号4幢 |