发明名称 蒸镀机的喷嘴系统
摘要 本申请公开了一种蒸镀机的喷嘴系统,包括:具有用于收容蒸镀材料的容纳腔的载具;布设于载具周围的用于加热蒸镀材料的蒸镀加热器;安装于载具并用于供蒸镀材料从载具中喷出的喷嘴;用于推出喷嘴内堵塞的推出装置,在本申请提供的实施例中,当喷嘴发生堵塞时,推出装置将喷嘴内堵塞推出,从而可以解决喷嘴堵塞处理时间长的技术问题。
申请公布号 CN205133725U 申请公布日期 2016.04.06
申请号 CN201520955797.0 申请日期 2015.11.26
申请人 昆山国显光电有限公司 发明人 卢青;张珅骏;朱晓庆
分类号 C23C14/24(2006.01)I 主分类号 C23C14/24(2006.01)I
代理机构 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 代理人 许志勇
主权项 一种蒸镀机的喷嘴系统,其特征在于,包括:具有用于收容蒸镀材料的容纳腔的载具;布设于载具周围的用于加热蒸镀材料的蒸镀加热器;安装于载具并用于供蒸镀材料从载具中喷出的喷嘴;用于推出喷嘴内堵塞的推出装置。
地址 215300 江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路1号4幢
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