| 摘要 |
플라즈마 발생장치에 직류전력을 공급하는 직류전원장치에 있어서, 플라즈마 방전을 발생시키는 고압 전압을 형성하는 장치구성을 간이하고 소형화한다. 직류전원장치가 구비하는 전압형 강압초퍼부에 미소 시간만큼 단락전류를 흐르게 하여 리액터에 에너지를 축적하는 공정을 복수 회 반복하여 행하고, 리액터에 축적한 에너지를 출력용량에 방출하여 출력전압을 축차 상승시키고, 이로써 이그니션 설정전압까지 승압시킨다. 단락전류는, 직류전원장치가 구비하는 승압회로의 스위칭소자를 이용하여 형성한다. 단락전류의 축적과 해방에 의한 출력단의 승압을 반복함으로써, 직류전원장치 출력단의 전압을 이그니션 설정전압까지 승압한다. |
