| 摘要 |
本願発明は、中心電極アパチャ（８２）を備えた電極本体（８１）を有し、前記電極本体は、２つの対向した主面間の電極高さを規定し、電極本体は、冷却用液体（１０２）を案内するための冷却用導管（１０５）を電極本体中に収容している、コリメータ電極に関する。前記電極本体は、好ましくは、デスク形状又は平らなリング形状をしている。本願発明は、更に、冷却用の液体を案内するための冷却用導管（１０５）が各々に設けられた第１のコリメータ電極及び第２のコリメータ電極と、第１及び第２のコリメータ電極の冷却用導管間の液体接続のための接続導管（１１０）とを有しており、荷電粒子ビーム発生器で使用されるコリメータ電極積層体に関する。を有しており、また、前記冷却用導管（１０５）は、熱伝導及び導電材料により形成された案内チューブとして形成されている、コリメータ電極【選択図】図７b |
