工序监视装置及工序监视方法

摘要

发明的工序监视装置4中，通过图像获取部3a～图像获取部3d分别获取：呈现对形成在薄膜状的基材的主表面上的抗蚀剂层进行曝光工序后且显影工序前的抗蚀剂层的感光图案的图案图像；呈现显影工序后的抗蚀剂图案的图案图像；呈现对形成有抗蚀剂图案的主表面进行蚀刻工序后且抗蚀剂剥离工序前的主表面的图案图像；以及呈现抗蚀剂剥离工序后的主表面的图案的图案图像。在缺陷检测部41中，对分别在显影工序、蚀刻工序及抗蚀剂剥离工序即将进行前及进行后紧接获取的两个图案图像进行比较。由此，抑制伪缺陷检测而准确检测各工序异常的产生。

主权项

一种工序监视装置，监视通过蚀刻而在薄膜状的基材上形成图案时的工序，其特征在于包括： 第一图像获取部，将如下图案图像作为获取候选而获取所述获取候选中的一个图案图像作为第一图案图像，所述图案图像为呈现对形成在基材的主表面上的抗蚀剂层进行曝光工序后且显影工序前的所述抗蚀剂层的感光图案的图案图像、呈现所述显影工序后的抗蚀剂图案的图案图像、呈现对形成有所述抗蚀剂图案的所述主表面进行蚀刻工序后且抗蚀剂剥离工序前的所述主表面的图案图像、以及呈现所述抗蚀剂剥离工序后的所述主表面的图案的图案图像； 第二图像获取部，获取所述获取候选中的另一个图案图像作为第二图案图像；以及 缺陷检测部，对所述第一图案图像与所述第二图案图像进行比较，由此检测通过在所述第一图案图像的获取与所述第二图案图像的获取之间进行的工序而产生的缺陷。