成膜装置及成膜基板制造方法

摘要

明提供一种小型且省空间的成膜装置及成膜基板制造方法，无论工件的形状如何，均能够高速且高效率地以均匀的厚度成膜。本发明的成膜装置包括：腔室，被导入溅射气体；搬送部，设置在腔室内，且具有循环搬送工件的搬送路径；靶，由堆积在工件上而成为膜的成膜材料形成，且设置在与搬送路径隔开并对向的位置；第一电源部，通过对靶施加电力，而使溅射气体电浆化，且使成膜材料堆积在工件上；以及电源控制部，在工件利用搬送部而通过供成膜材料堆积的区域即成膜区域期间，根据工件相对于靶的位置的变化，使第一电源部对靶施加的电力变化。

主权项

一种成膜装置，使溅射气体电浆化，且使成膜材料堆积在工件上，其特征在于包括： 腔室，被导入溅射气体； 搬送部，设置在所述腔室内，循环搬送工件； 溅射源，由堆积在所述工件而成为膜的所述成膜材料形成，且具有靶，所述靶设置在与利用所述搬送部使所述工件移动的路径对向的位置； 电源部，对所述靶施加电力；以及 电源控制部，在所述工件通过作为供所述成膜材料堆积的区域的成膜区域期间，根据所述工件相对于所述靶的间隔、方向或从平面方向观察到的重叠面积的变化，使所述电源部对所述靶施加的电力变化。