| 摘要 |
전기 도전층(9)으로 덮힌 적어도 하나의 부분 및 도전층으로 덮히지 않은 적어도 하나의 부분을 포함하는 적어도 하나의 공진 부분(Z)을 가지는 실리콘에 기초한 재료의 동체를 구비한 공진기(3)로서, 공진 부분에서, 실리콘에 기초한 재료가 도전층 및 패시베이션 층에 의해 조합되어 완전하게 덮히는 방식으로, 도전층으로 덮히지 않은 부분이 패시베이션 층(10,10')으로 덮히는 것을 특징으로 한다. 또한 본 발명은 그러한 공진기를 포함하는 진동 센서 및 공진기의 제조 방법을 제공한다. |
