HYDROSTATIC GAS BEARING AND LINEAR GUIDE APPARATUS USING THE SAME

摘要

정압 기체 베어링(1)은, 합성수지제의 베어링체(2)와, 베어링체(2)에 체결 부재(3)에 의해 일체적으로 접합되어 있는 베어링 기체(4)와, 일체적으로 접합된 베어링체(2) 및 베어링 기체(4)간의 간극으로부터의 압축 공기의 누출을 방지하도록 베어링체(2)에 장착된 환형 실링 부재(5)와, 자여 진동 감쇠 기구(6)를 구비하고 있다.