等倍率共光路曝光机镜组

摘要

等倍率共光路曝光机镜组，系包括：四球面镜，包含依序排列之第一球面镜、第二球面镜、第三球面镜及第四球面镜；一球面反射镜，系配置于该第四球面镜下方；以及两平面反射镜，包含第一平面反射镜及第二平面反射镜，系斜置于该第一球面镜上方；如此，藉上述各光学镜组摆置形成共轭等倍远心（Telecentric）构型，俾使物件上之图案经过各光学镜组聚焦后形成无畸变之影像。藉此，本发明采用球面及叠合式组装，使其中四个球面镜之每一球面镜及反射镜之曲率都为球面，以全球面镜组及二种光学材料相互摆置完成之等倍率共光路曝光镜组，可使曝光镜头之功能更易达到，并可直接影响制造成本，具有元件数少、光件易制（可满足镜片制作经验公式）、校正简单、抗色差、优化口径比F/#及成本低之功效。

主权项

【第１项】一种等倍率共光路曝光机镜组，系包括：四球面镜，包含依序排列之第一球面镜、第二球面镜、第三球面镜及第四球面镜，该第一、二球面镜系用以提供曲率及校正球差，该第三、四球面镜系用以校正像散及场曲；一球面反射镜，系配置于该第四球面镜下方，用以反射光路径及控制数值孔径大小；以及两平面反射镜，包含第一平面反射镜及第二平面反射镜，系斜置于该第一球面镜上方，用以引导光路径；如此，藉上述各光学镜组摆置形成共轭等倍远心（Telecentric）构型，俾使物件上之图案经过各光学镜组聚焦后形成无畸变之影像。