| 发明名称 |
用于为ＣＶＤ装置或ＰＶＤ装置产生蒸汽之装置及方法 |
| 摘要 |
明系有关一种用于在CVD装置或PVD装置中产生蒸汽之装置及方法，其系藉由使固态或液态粒子与单级或多级蒸发装置(1、2)之达到蒸发温度的第一传热面接触，而将蒸发热传递至该等粒子，并且，粒子蒸发所产生之蒸汽系由载气沿该载气之流向运出该蒸发装置(1、2)。根据本发明，其蒸汽系由载气运送穿过沿流向设于该蒸发装置(1、2)后面之单级或多级调节装置(3、4)，此等调节装置(3、4)具有第二传热面，该等第二传热面在蒸汽供应阶段经调温而达到第一调节温度，蒸汽系在该第一调节温度下穿过该调节装置(3、4)，且不会在该等第二传热面上冷凝，并且，该等第二传热面在中断阶段经调温而达到第二调节温度，在该第二调节温度下，至少一部分蒸汽在该等第二传热面上冷凝。可用冷却气体实施其冷却。
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| 申请公布号 |
TW201612337 |
申请公布日期 |
2016.04.01 |
| 申请号 |
TW104121097 |
申请日期 |
2015.06.30 |
| 申请人 |
爱思强欧洲公司 |
发明人 |
朗 麦克;毕卡德 比吉特 伊姆加德;克拉马 克劳迪娅;特林博恩 卡尔 汉茨;艾希勒 安迪;波可 安德烈亚斯 |
| 分类号 |
C23C14/12(2006.01);C23C14/24(2006.01);C23C14/26(2006.01);C23C14/54(2006.01);C23C16/448(2006.01);C23C16/52(2006.01) |
主分类号 |
C23C14/12(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
赖经臣;宿希成 |
| 主权项 |
一种在CVD装置或PVD装置中产生蒸汽之方法，其系藉由使固态或液态粒子与单级或多级蒸发装置(1、2)之达到蒸发温度的第一传热面接触，而将蒸发热传递至该等粒子，并且，粒子蒸发所产生之蒸汽系由载气沿该载气之流向运出该蒸发装置(1、2)，其特征在于：其蒸汽系由载气运送穿过沿流向设于该蒸发装置(1、2)后面之单级或多级调节装置(3、4)，此等调节装置(3、4)具有第二传热面，该等第二传热面至少在蒸汽供应阶段经调温而达到第一调节温度，蒸汽在该第一调节温度下穿过该调节装置(3、4)，且不会在该等第二传热面上发生材料富集式(material-enriching)冷凝，并且，该等第二传热面至少在中断阶段经调温而达到第二调节温度，在该第二调节温度下，至少一部分蒸汽在该等第二传热面上发生材料富集式冷凝。
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| 地址 |
德国 |
