| 摘要 |
본 발명은 적어도 하나의 댐핑 요소(2)를 포함하는 반도체 리소그래피용 투영 노광 장치(310)를 위한 교체 가능한 조립체(1)에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 투영 노광 장치의 진동 및 파라미터를 검출하기 위한 적어도 하나의 센서를 포함하는 반도체 리소그래피용 투영 노광 장치(310) 및 반도체 리소그래피용 투영 노광 장치를 위한 측정 조립체에 관한 것이고, 여기에서 측정 조립체는 투영 노광 장치(310)에서 광학 소자에 제공되는 교환 개구 내로 삽입될 수 있는 방식으로 구현된다. |
