发明名称 能量敏感性树脂组成物
摘要 明提供一种即使以低温对聚苯并恶唑前驱物进行热处理时,仍可赋予如拉伸伸度般之机械特性或耐药品性优异,着色受到抑制且高透明性之聚苯并恶唑树脂之能量敏感性树脂组成物、使用上述能量敏感性树脂组成物之聚苯并恶唑膜或聚苯并恶唑成形体之制造方法、及使用上述能量敏感性树脂组成物之图型制造方法。
申请公布号 TW201612234 申请公布日期 2016.04.01
申请号 TW104119813 申请日期 2015.06.18
申请人 东京应化工业股份有限公司 发明人 野田国宏;千坂博树;塩田大
分类号 C08L65/00(2006.01);G03F7/004(2006.01);H01L21/027(2006.01) 主分类号 C08L65/00(2006.01)
代理机构 代理人 林志刚
主权项 一种能量敏感性树脂组成物,其系含有聚苯并恶唑前驱物、溶剂、以及因光及热之至少一方之作用而分解进而产生硷及酸之至少一者之化合物(A);该聚苯并恶唑前驱物系使下述式(1)所表示之芳香族二胺二醇与下述式(2)所表示之二羰基化合物进行反应而得者; 式中,Ra1为包含1个以上之芳香环之4价有机基,式(1)所表示之芳香族二胺二醇所包含之2组之胺基与羟基之组合系为在各自之组合中,胺基与羟基系键结于Ra1所包含之芳香环上之邻接之2个碳原子上; 式中,Ra2表示2价有机基,A表示氢原子或卤素原子。
地址 日本