| 摘要 |
본 발명은, 링형 자장 소스(2), 및 음극(32)의 기화 표면(33)에 아크 방전을 발생시키기 위한 상기 음극(32)으로서의 기화 재료(31)를 가진 음극 본체(3)를 포함하는 진공 아크 기화 소스에 관한 것이다. 이러한 배치에서, 상기 음극 본체(3)는 제1 축방향에서는 음극 베이스(34)에 의해 축방향으로 경계가 지어지고, 제2 축방향에서는 상기 기화 표면(33)에 의해 축방향으로 경계가 지어져 있으며, 상기 링형 자장 소스(2)는 상기 기화 표면(33)의 법선(300)에 대해 평행하거나 평행하지 않게 극성을 가지도록 배치되어 있고, 상기 기화 표면(33)의 상기 법선(300)에 대해 동심으로 배치되어 있다. 본 발명에 따라, 자장 강화 링(4)이 상기 음극 베이스(34) 앞에 소정 제2 거리(A2)에 기화 표면(33)으로부터 먼 쪽에 배치되어 있다. 본 발명은 또한, 아크 기화 소스(1)를 가진 아크 기화 챔버(10)에 관한 것이다. |
