发明名称 |
用于工具安装之消耗式界面板 |
摘要 |
设备包括一界面,其可操作用以被连接至一用于积体电路工具的台座或一高起来的楼板,该界面包含多个用于该界面的输入侧上及输出侧上的公用设施连接的开孔。一种设备包括一界面,其可操作用以被连接至一台座或一高起的楼板且包含多个用于该界面的输入侧上及输出侧上的公用设施连接的开孔;诸连接器,其透过该界面上的各个开孔被连接,该等连接器可操作以连接至一个别的公用设施;及一工具,其耦合至该等连接器的各个连接器。一种方法包括将来自一来源的一或多个公用设施耦合至一耦合至一台座的界面的一输入侧;及在该界面的一输出侧将一工具耦合至该一或多个公用设施。
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申请公布号 |
TW201613055 |
申请公布日期 |
2016.04.01 |
申请号 |
TW104122563 |
申请日期 |
2015.07.13 |
申请人 |
英特尔股份有限公司 |
发明人 |
巴斯 露平德吉特 |
分类号 |
H01L23/50(2006.01);H01L21/98(2006.01) |
主分类号 |
H01L23/50(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
林志刚 |
主权项 |
一种设备,包含:一界面,其可操作用以被连接至一用于一积体电路工具的台座或高起来的楼板,该界面包含多个在该界面的一输入侧及一输出侧上用于公用设施连接件的开孔。
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地址 |
美国 |