发明名称 固体摄像装置及其制造方法
摘要 由一个实施型态时,半导体基板具有:设置有光电转换元件之第1区域;被设置在第1区域之周围,设置有元件之第2区域;及被设置在第1区域和第2区域之间,设置有光电转换元件之第3区域。第1层间绝缘膜被设置在第1区域和第3区域上。第2层间绝缘膜被设置在第2区域上,较第1层间绝缘膜厚。树脂材设置在被设于第1层间绝缘膜之第3区域侧的沟上,及第1区域之第1层间绝缘膜上。
申请公布号 TW201613080 申请公布日期 2016.04.01
申请号 TW104103930 申请日期 2015.02.05
申请人 东芝股份有限公司 发明人 桥本幸吉
分类号 H01L27/146(2006.01) 主分类号 H01L27/146(2006.01)
代理机构 代理人 林志刚
主权项 一种固体摄像装置,其特征在于具备:半导体基板,其具有:设置有光电转换元件之第1区域;被设置在上述第1区域之周围,设置有元件之第2区域;及被设置在上述第1区域和第2区域之间,设置有上述光电转换元件之第3区域;第1层间绝缘膜,其系被设置在上述第1区域和上述第3区域上;第2层间绝缘膜膜,其系被设置在上述第2区域上,较上述第1层间绝缘膜厚;及树脂材,其系设于被设置在上述第1层间绝缘膜之上述第3区域侧的沟上,及上述第1区域之上述第1层间绝缘膜上。
地址 日本