晶圆传送盒底座检查装置及方法

摘要

明提供一种晶圆传送盒底座检查装置及方法。晶圆传送盒底座检查装置包括影像撷取单元、锁附组件及处理单元，其中处理单元与影像撷取单元及锁附组件电性连接。影像撷取单元可移动地设置于底座下方，以撷取至少一开孔的开孔影像。影像撷取单元通过处理单元的控制以撷取所述开孔的影像，并判断每一个所述开孔内是否有一螺丝。锁附组件与影像撷取单元相邻且可移动地设置于所述底座下方。当每一个开孔内有所述螺丝时，锁附组件通过处理单元的控制，以检查每一个螺丝是否锁紧。

主权项

一种晶圆传送盒底座检查装置，其中所述晶圆传送盒具有一底座，所述底座的多个底面位置设有多个开孔，所述晶圆传送盒底座检查装置包括：一影像撷取单元，可移动地设置于所述底座下方，以撷取至少一所述开孔的一开孔影像；一锁附组件，与所述影像撷取单元相邻且可移动地设置于所述底座下方；以及一处理单元，与所述影像撷取单元及所述锁附组件电性连接，其中，所述影像撷取单元通过所述处理单元的控制以撷取所述开孔影像，并判断每一个所述开孔内是否有一螺丝；其中，当每一个所述开孔内有所述螺丝时，所述锁附组件通过所述处理单元的控制，以检查每一个所述螺丝是否锁紧。