焦点位置调整方法及检查方法

摘要

可以防止由于绕射光导致焦点位置调整精度下降之情形的焦点位置调整方法。再者，提供防止由于绕射光导致焦点位置调整精度下降，依此可以进行正确检查的检查方法。

主权项

一种焦点位置调整方法，具有将来自第1光源之光及较该光之波长长的来自第2光源之光之至少一方透过接物透镜而对试料照明的照明光学系统，和将在上述试料反射之光透过上述接物透镜而在第1感测器上成像的成像光学系统，并使用在上述第1感测器成像的影像，进行被形成在上述试料之图案的缺陷检查的检查装置之焦点位置调整方法，其特征在于具有：使来自上述第1光源之光穿透被配置在上述照明光学系统之第1槽隙之后透过上述接物透镜而对上述试料照明之工程；将在上述试料反射且穿透上述接物透镜之来自上述第1光源的光，聚光在被配置在上述成像光学系统之第2感测器，并观察上述照明光学系统之光瞳之光强度分布的工程；及当由上述光强度分布，判断在上述试料反射之来自上述第1光源的光之绕射光几乎与0次光重叠之时，或是该绕射光不穿透被配置在上述成像光学系统之两个槽隙之时，使在上述试料反射且穿透上述接物透镜的来自上述第1光源之光予以分歧，而引导至被配置在上述成像光学系统之两个槽隙，并藉由检测出穿透一方之槽隙之光的焦点位置调整用感测器，和检测出穿透另一方之槽隙之光的其他焦点位置调整用感测器，取得被投影至上述试料之上述第1槽隙之影像之前插销和后插销之各光量而调整上述照
明光学系统之焦点位置，当由上述光强度分布，判断在上述试料反射之来自上述第1光源的光之绕射光几乎不与0次光重叠而穿透被配置在上述成像光学系统之两个槽隙之时，代替来自上述第1光源之光使来自上述第2光源之光穿透上述第1槽隙之后，透过上述接物透镜对上述试料照明，且使在上述试料反射之光予以分歧，而引导至被配置在上述成像光学系统之两个槽隙，并藉由检测出穿透一方之槽隙之光的焦点位置调整用感测器，和检测出透过另一方之槽隙之光的其他焦点位置调整用感测器，取得被投影至上述试料之上述第1槽隙之影像之前插销和后插销之各光量而调整上述照明光学系统之焦点位置的工程。