发明名称 球形成装置、打线装置以及球形成方法
摘要 明提供一种球形成装置、打线装置以及球形成方法,可抑制异形球的形成。球形成装置50于炬电极48与金属线42的前端部之间产生放电而于金属线42的前端部形成球43,且包括:电流供给部54,对炬电极48与金属线42的前端部之间供给球形成电流;以及电流控制部57,以规定期间内的球形成电流的信号具有规定电流值的第1期间与包含三角波的第2期间的方式,对电流供给部54进行控制。
申请公布号 TWI528481 申请公布日期 2016.04.01
申请号 TW103143974 申请日期 2014.12.17
申请人 新川股份有限公司 发明人 萩原美仁;笹仓一正;砂田辰之
分类号 H01L21/60(2006.01) 主分类号 H01L21/60(2006.01)
代理机构 代理人 叶璟宗;郑婷文;詹富闵
主权项 一种球形成装置,于电极与金属线的前端部之间产生放电,而于上述金属线的前端部形成球,其特征在于包括:电流供给部,对上述电极与上述金属线的前端部之间供给球形成电流;以及电流控制部,以规定期间内的上述球形成电流的信号具有规定电流值的第1期间与包含三角波的第2期间的方式,对上述电流供给部进行控制。
地址 日本