图案的评价方法、多成分物质的评价方法、评价程式、以及评价装置

摘要

明的课题在于可提升多成分物质的评价的精确度及效率。
本发明解决手段的特征为具备：对象FP作成制程173、对象FP峰值归属制程149、对象FP峰值特征值作成制程151、对象FP类型2作成制程153、对象FP区域分割特征值作成制程155、对象FP特征值统合制程157和评价制程171，并且，将对象FP峰值特征值及对象FP区域分割特征值统合以作成对象FP统合特征值，对对象FP统合特征值以及基准FP统合特征值进行比较评价，而该基准FP统合特征值为与该对象FP统合特征值相对应且基于成为评价基准的多成分物质的复数基准FP来产生。

主权项

一种图案的评价方法，具备：对象图案取得制程，取得峰值依时间序列变化之评价对象的对象图案；对象峰值归属制程，比较前述对象图案以及与该对象图案对应且成为峰值依时间序列变化之评价基准之基准图案的峰值，并在前述对象图案及基准图案间特定具有对应关系的峰值；对象峰值特徴值作成制程，对在该对象峰值归属制程所特定且归属的峰值以及成为评价基准的复数个基准图案的峰值进行比较评价，以作成特徴值化的对象峰值特徴值；对象图案类型2作成制程，从前述对象图案去除经前述特徴值化的峰值而将由剩余的峰值所构成的图案作成为对象图案类型2；对象图案区域分割特徴值作成制程，将前述对象图案类型2分割成复数个区域并从存在于各区域之峰值的存在率或存在量作成对象图案区域分割特徴值；对象图案特徴值统合制程，将前述对象图案的峰值特徴值与前述对象图案区域分割特徴值统合，以作成对象图案统合特徴值；以及评价制程，对前述对象图案统合特徴值以及基准图案统合特徴值进行比较评价，该基准图案统合特徴值为与该对象图案统合特徴值相对应且基于成为评价基准的复数个基准图案来产生。