热处理装置及热处理装置之温度测定方法

摘要

热处理装置，系具备有：炉本体，系于内周面设有加热部；处理容器，系配置于炉本体内，于炉本体之间形成含有复数区域之空间，并于内部收纳复数被处理体；炉内温度感应器，系对应于空间之各区域而设置者；炉内温度运算部，系基于来自各炉内温度感应器之讯号来算出炉内温度；以及控制部，系基于由炉内温度运算部所算出之炉内温度来控制加热部；其中，于空间当中之基准区域所设置之炉内温度感应器系包含有由R热电偶或是S热电偶所构成之第1热电偶、以及由此等热电偶以外之热电偶所构成之第2热电偶，而于其他区域所设置之炉内温度感应器系包含有第2热电偶；另外，炉内温度运算部系具有：电动势差电路，系连接于基准区域之第2热电偶与其他区域之第2热电偶，而算出基准区域与其他区域之温度差；第1热电偶电动势测定电路，系连接于基准区域之第1热电偶，基于来自此第1热电偶之讯号来算出基准区域之温度；以及，加法器，系连
接于第1热电偶电动势测定电路以及对应于其他区域之电动势差电路，将来自第1热电偶电动势测定电路之讯号与来自该电动势差电路的讯号做加法运算以算出其他区域之温度。

主权项

一种热处理装置，系具备有：炉本体，系于内周面设有加热部；处理容器，系配置于炉本体内，于炉本体之间形成含有复数区域之空间，并于内部收纳复数被处理体；炉内温度感应器，系对应于空间之各区域而设置者；炉内温度运算部，系基于来自各炉内温度感应器之讯号来算出炉内温度；以及控制部，系基于由炉内温度运算部所算出之炉内温度来控制加热部；于空间当中之基准区域所设置之炉内温度感应器系包含有由R热电偶或是S热电偶所构成之第1热电偶、以及由此等热电偶以外之热电偶所构成之第2热电偶，而于其他区域所设置之炉内温度感应器系包含有第2热电偶；炉内温度运算部系具有：电动势差电路，系连接于基准区域之第2热电偶与其他区域之第2热电偶，而算出基准区域与其他区域之温度差；第1热电偶电动势测定电路，系连接于基准区域之第1热电偶，基于来自此第1热电偶之第1讯号来算出基准区域之温度；以及，加法器，系连接于第1热电偶电动势测定电路以及对应于其他区域之电动势差电路，将来自第1热电偶电动势测定电路之第2讯号与来自该电动势
差电路的第3讯号做加法运算以算出其他区域之温度。